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    舉例幾種電子特種氣體
    2021.10.28
        合肥電子特種氣體一般用于電子工業(yè)、半導(dǎo)體制造用,下面舉例幾種特種氣體
    舉例幾種電子特種氣體
        1:摻雜氣:AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、SeH2、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te:

        2:晶體生長氣:SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2:

        3:氣相蝕刻氣:CL2、HCl、HF、HBr、SF6

        4:等離子蝕刻氣:SIF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、HFCl2、N2、He、Ar:

        5:離子束蝕刻氣:C3F8、CHF3、CClF3、CF4

        6:離子注入氣:AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2:

        7:化學(xué)氣相淀集氣:SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2

        8:平衡氣:N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2

        9:外延氣:SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar
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