




特種氣體的介紹
特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體,隨著國1防工業(yè)、科學研究、自動化技術、精密檢測(特別是微電子技術)的發(fā)展,工業(yè)特種氣體,特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力,廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜、醫(yī)1藥等新興行業(yè)。特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,合肥特種氣體,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程。

特種氣體系統(tǒng):
氣體房的選擇和設計
除了簡單的供氣系統(tǒng)以外,特種氣體廠商,特氣房一般都獨立于主場房而單獨建設,電子特種氣體,其規(guī)劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。常規(guī)供氣系統(tǒng)一般也采用多種氣瓶柜共設在一個氣體室;而對于大宗特氣,會根據(jù)氣體特性和相容性將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅1烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風,氣體房的選擇和設計一般由設計院完成。


特種氣體的介紹
特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備,一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。

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