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特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，以上分類存在交叉，特種氣體廠商，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

特種氣體的運輸

算出運輸量

關(guān)于高壓氣體的運輸規(guī)則，根據(jù)其運輸量而有所不同。其運輸量，可用如下方法算出。

(1)運輸量的計算

  運輸量的計算是用一個容器的氣體充填量乘上車上裝載的容器個數(shù)。

  容器的充填量，壓縮氣體用米3表示，特種氣體供應(yīng)商，液化氣體用公斤表示。

壓縮氣體 容器內(nèi)容積(升)×充填壓力(公斤／厘米2 )/1000=米3

  液化氣體 容器的充填質(zhì)量(公斤)。

特種氣體的殺菌

安全與環(huán)保

　　1.制定完善的經(jīng)驗證可行的滅菌工藝方案以及環(huán)氧乙1烷存放、收發(fā)制度，專人持證上崗，嚴(yán)格按照操作規(guī)程運行

　　2. 環(huán)氧乙1烷儲存應(yīng)與滅菌生產(chǎn)隔離開來，安徽特種氣體，應(yīng)設(shè)有防爆墻，工業(yè)特種氣體多少錢，儲存室陰涼、通風(fēng)、防曬，有易1燃、易1爆、有毒標(biāo)志，并配備消防器材。

　　3.滅菌車間周圍30-50米內(nèi)不得有明火作業(yè)、變電設(shè)備及其他可發(fā)生火花的設(shè)備或操作

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