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特種氣體的用途

1、氣體產(chǎn)品質(zhì)量控制。氣體分析儀器用標準氣為定量標準保證測量結(jié)果的準確性，從而控制氣體產(chǎn)品質(zhì)量符合國家或行業(yè)標準

2、報警儀器的檢定與校準。

3、大氣環(huán)境污染監(jiān)測。定期校準用于環(huán)境監(jiān)測的各類儀器儀表。

4、醫(yī)1療衛(wèi)生及臨床化驗。如血液氣體分析、肺功能測定、細菌培養(yǎng)、呼吸代謝測定、放1射性示蹤器、外1科激光手續(xù)、孕婦分娩等。。

5、建筑家居環(huán)境監(jiān)測。校準用于檢測室內(nèi)建筑裝飾裝修材料中的有害物質(zhì)，如甲1醛、氨等的儀器設備。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），特種氣體廠，發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，東莞特種氣體，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。

特種氣體系統(tǒng)：

管道系統(tǒng)的設計

材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，特種氣體生產(chǎn)廠家，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 .

輔助系統(tǒng)的設計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。

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