




特種氣體的主要生產(chǎn)工序
包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下,上海特種氣體,通過化學反應(yīng)得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。
氣體混配是將兩種或兩種以上有效組分氣體按照特定比例混合,得到多組分均勻分布的混合氣體。
氣瓶處理是根據(jù)載氣性質(zhì)及需求的不同,對氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面及外觀進行處理的過程,以保證氣體存儲、運輸過程中產(chǎn)品的穩(wěn)定。氣體充裝是指通過壓力差將氣體充入氣瓶等壓力容器;氣體分析檢測即為對氣體的成分進行分析、檢測的過程。

特種氣體系統(tǒng)工程施工的一般性要求
特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管應(yīng)采用全自動軌道焊機焊接,特種氣體供應(yīng)商,高純氬氣保護。安裝和試驗檢測用計量器具應(yīng)檢定合格并在有效期內(nèi)使用。特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專項施工方案,特種氣體價格,并經(jīng)過業(yè)主審批后實施。主要設(shè)備材料進場應(yīng)提供必要資料:產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測試報告;產(chǎn)品安裝、使用、維護和試驗要求等技術(shù)文件;產(chǎn)品規(guī)格、型號、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具。

特種氣體的分類
近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高,所以我們特將這個領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導體發(fā)光二極管(LED)、液晶面板、光纖、IC、半導體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括:
1、硅族氣體:含硅基的硅i烷類。
2、摻雜氣體:含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。
3、蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主。
4、反應(yīng)氣體:以碳系及氮系氧化物為主。
5、金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機烷類金屬。

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