




特種氣體的主要生產(chǎn)工序
包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下,通過化學(xué)反應(yīng)得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。
氣體混配是將兩種或兩種以上有效組分氣體按照特定比例混合,得到多組分均勻分布的混合氣體。
氣瓶處理是根據(jù)載氣性質(zhì)及需求的不同,對(duì)氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面及外觀進(jìn)行處理的過程,以保證氣體存儲(chǔ)、運(yùn)輸過程中產(chǎn)品的穩(wěn)定。氣體充裝是指通過壓力差將氣體充入氣瓶等壓力容器;氣體分析檢測即為對(duì)氣體的成分進(jìn)行分析、檢測的過程。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
GMS和GDS系統(tǒng)
氣體監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò),實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸送系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)控,以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
氣體偵測系統(tǒng)(GDS)是全廠生命安全系統(tǒng)(LSS)的重要組成部分。對(duì)于偵測器的要求,除了精度高,特種氣體價(jià)格,反應(yīng)迅速外,特種氣體多少錢,還應(yīng)具備自檢功能。對(duì)于這兩個(gè)系統(tǒng)在這里只能做一個(gè)概念性的介紹。
后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng),合理選擇管徑和材料,是我們?cè)O(shè)計(jì)的重點(diǎn),這樣可顯著降低整個(gè)系統(tǒng)的成本。


特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,西安特種氣體,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精1確控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),特種氣體生產(chǎn)廠家,中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。


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