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氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-真空法，真空法首要應用于真空密封功能要求，工業(yè)特種氣體，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設備等。真空法檢測靈敏度高，能夠準確定位，特種氣體多少錢，能完成大容器或雜亂結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。可是只能完成一個大氣壓差的漏率檢測，北京特種氣體，不能準確反映帶壓被檢產(chǎn)品的實在走漏狀況。

選用真空法檢漏時，需求使用輔佐真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產(chǎn)品外外表施氦氣，當被檢產(chǎn)品外表有漏孔時，氦氣就會經(jīng)過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品走漏量丈量。依照施漏氣體辦法的不同，又能夠?qū)⒄婵辗ǚ譃檎婵諊姶捣ê驼婵蘸ふ址āＦ溟g真空噴吹法選用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外外表噴吹氦氣，能夠完成漏孔的準確定位； 真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來，在罩內(nèi)充溢必定濃度的氦氣，能夠完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

特種氣體的雜質(zhì)檢測和監(jiān)控

隨著電子特氣的純度越來越高，對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求，檢測限從zui早的ppm級已經(jīng)發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line)，特種氣體廠，原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

電子特種氣體的介紹

電子特種氣體和半導體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關，與濕電子化學品一樣是電子元器件的上游原材料之一。其廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝中，與生產(chǎn)設備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。

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