




特種氣體系統(tǒng):簡單供氣系統(tǒng)
由于氣體流量小,不經(jīng)常使用,特種氣體生產(chǎn)廠家,特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板;配置繼電器控制,自動切換,手動吹掃,手動放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng),廣東特種氣體,有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風(fēng)夾道,特種氣體供應(yīng)商,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。


特種氣體在進樣中的注意事項
樣品氣的置換,特種氣體價格,由于特種氣都要經(jīng)過減壓器和管線后才能取樣,要準確取樣必須將減壓器和管線進行充分的置換,這種置換不是簡單意義上的吹掃。因為減壓器的死體積很大,不斷將鋼瓶閥打開關(guān)閉反復(fù)3次以上,每次將減壓器里的氣體排盡,然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。進樣管線的氣密性,進樣管線的泄漏,對樣品的數(shù)據(jù)的準確性有很大影響,對低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴格檢查取樣管線的氣密性。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
簡單供氣系統(tǒng)
簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單,通常不需要連續(xù)性供氣,對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。
惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。


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