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特種氣體系統(tǒng)：

管道系統(tǒng)的設計

材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 .

輔助系統(tǒng)的設計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，特種氣體生產(chǎn)廠家，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。

特種氣體在進樣中的注意事項

樣品氣的置換，特種氣體廠家，由于特種氣都要經(jīng)過減壓器和管線后才能取樣，要準確取樣必須將減壓器和管線進行充分的置換，特種氣體價格，這種置換不是簡單意義上的吹掃。因為減壓器的死體積很大，煙臺特種氣體，不斷將鋼瓶閥打開關閉反復3次以上，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。進樣管線的氣密性，進樣管線的泄漏，對樣品的數(shù)據(jù)的準確性有很大影響，對低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴格檢查取樣管線的氣密性。

特種氣體系統(tǒng)：簡單供氣系統(tǒng)

由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

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