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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（氣體種類(lèi)包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類(lèi)包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類(lèi)包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類(lèi)包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類(lèi)包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，特種氣體價(jià)格，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

特種氣體在進(jìn)樣中的注意事項(xiàng)

樣品氣的置換，由于特種氣都要經(jīng)過(guò)減壓器和管線后才能取樣，要準(zhǔn)確取樣必須將減壓器和管線進(jìn)行充分的置換，這種置換不是簡(jiǎn)單意義上的吹掃。因?yàn)闇p壓器的死體積很大，邯鄲特種氣體，不斷將鋼瓶閥打開(kāi)關(guān)閉反復(fù)3次以上，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。進(jìn)樣管線的氣密性，進(jìn)樣管線的泄漏，對(duì)樣品的數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性有很大影響，對(duì)低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴(yán)格檢查取樣管線的氣密性。

特種氣體的一般概念  

臨界溫度和臨界壓力。因?yàn)槿魏螝怏w在一點(diǎn)溫度和壓力下都可以液化，溫度越高，液化所需要的壓力也越高，但是當(dāng)溫度超過(guò)某一數(shù)值時(shí)，即使在增加多大的壓力也不能液化，這個(gè)溫度叫臨界溫度 ，工業(yè)特種氣體，在這一溫度下zui低的壓力就叫做臨界壓力，電子特種氣體，例如：水的臨界溫度為374.15℃，臨界壓力為225.65kgf/cm2，氨的臨界溫度為132.4℃，臨界壓力為115.2kgf/cm2。

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