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特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工

在現(xiàn)場施工時(shí)，周圍的環(huán)境會(huì)對(duì)潔凈管道有污染的危險(xiǎn)性，因此應(yīng)盡可能地在臨時(shí)凈化間內(nèi)施焊，減少現(xiàn)場焊接點(diǎn)的數(shù)量。在全自動(dòng)脈沖氬弧焊焊接過程中，如果管內(nèi)殘留有氧氣或水分，則在焊接部位會(huì)形成氧化膜，變成微粒發(fā)生源，所以，在焊接過程中及焊接前后，用高純氮?dú)獬浞种脫Q管內(nèi)的氧氣或水分是非常重要的。焊接保護(hù)氣體經(jīng)過0.05um過濾器過濾。現(xiàn)場每完成好一部分管道，兩端閥門必須關(guān)緊（如沒有閥門，電子特種氣體，管內(nèi)就應(yīng)一直充著氬氣保護(hù)）在管道施工過程中難免會(huì)有微粒進(jìn)人管道系統(tǒng)內(nèi)，管路系統(tǒng)的吹掃是一個(gè)必不可少的過程；高純氣體管道用高純氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，先吹主干管，其次吹支干管，zui后吹掃各支管。

特種氣體存放

針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn)，于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前，會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，特種氣體公司，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇，特種氣體供應(yīng)商，而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進(jìn)行供應(yīng)。

特種氣體系統(tǒng)：常規(guī)供氣系統(tǒng)

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，西安特種氣體，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。              

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