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特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。同時，以上分類存在交叉，特種氣體公司，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

特種氣體的介紹

主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下，通過化學(xué)反應(yīng)得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。

應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域，其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有20～30種。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-真空壓力法，特種氣體生產(chǎn)廠家，真空壓力法首要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡略、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進(jìn)劑貯箱、天線、應(yīng)答機(jī)、整星產(chǎn)品等。該辦法檢測靈敏度高，能完成任何工作壓力的漏率檢測，特種氣體供應(yīng)商，反映被檢件的實在走漏狀況。可是這種檢漏體系雜亂，需求依據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計真空密封室，在檢漏過程要求確保充氣管道接口無走漏，或者采取特別的結(jié)構(gòu)設(shè)計將一切充氣管道銜接接口放置在真空密封室外部。

選用真空壓力法檢漏時，需求將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，南京特種氣體，真空密封室與輔佐抽暇體系和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口經(jīng)過銜接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時，氦氣就會經(jīng)過漏孔進(jìn)入真空密封室，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

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