




氣體混裝的合算從容器輸運(yùn)的安全來說,特種氣體廠家,盡量避免與其它氣體混裝。在不得已混裝時(shí),特種氣體供應(yīng)商,按照下列方法進(jìn)行合算。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,武漢特種氣體,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體的雜質(zhì)檢測(cè)和監(jiān)控
隨著電子特氣的純度越來越高,對(duì)分析檢測(cè)方法和儀器提出了更高的要求,檢測(cè)限從zui早的ppm級(jí)已經(jīng)發(fā)展到ppt級(jí)。目前國(guó)外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對(duì)于高純度電子氣體的分析,國(guó)外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測(cè)試方法和現(xiàn)場(chǎng)分析儀器。而由于我國(guó)電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測(cè),因此分析方法和分析儀器同國(guó)外廠商相比都比較落后。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法
氦質(zhì)譜檢漏-背壓法,背壓法的檢漏首要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。該辦法檢測(cè)靈敏度高,能完成小型密封容器產(chǎn)品的走漏檢測(cè),能夠進(jìn)行批量化檢測(cè)。可是不能進(jìn)行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時(shí)刻太長(zhǎng)。此外,每個(gè)丈量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效規(guī)范漏率,在細(xì)檢完成后還需求選用其它辦法進(jìn)行粗檢,掃除大漏的或許。


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