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特種氣體的介紹

特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，特種氣體生產(chǎn)廠家，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。

特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。

特種氣體的殺菌

影響滅菌的因素　　

溫度：

　　溫度的常規(guī)極限一般在37℃～63℃，1常用的溫度一般為50±5℃。但是當(dāng)溫度高到足以使藥1物發(fā)揮1大作用時，特種氣體廠，在升高溫度，安徽特種氣體，則殺菌效果亦不再提高。滅菌溫度的確定同以下條件有關(guān)：1）所滅產(chǎn)品的溫度耐受性。2）裝載量及裝載方式，電子特種氣體，要求裝載量≤80%，不接觸柜壁，各箱體之間有不小于5cm的間隙。3）包裝材料的厚度、大小，堆積密度。

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