




氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法
氦質(zhì)譜檢漏-背壓法,背壓法的檢漏首要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。該辦法檢測靈敏度高,能完成小型密封容器產(chǎn)品的走漏檢測,能夠進行批量化檢測。可是不能進行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,特種氣體生產(chǎn)廠家,導(dǎo)致加壓時刻太長。此外,每個丈量漏率都對應(yīng)兩個等效規(guī)范漏率,在細檢完成后還需求選用其它辦法進行粗檢,掃除大漏的或許。


在半導(dǎo)體制造業(yè)中,可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體,大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體,如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積,擴散等過程中使用的各種化學(xué)氣體,如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等,安徽特種氣體,又可稱為電子特種氣體。電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體。

特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設(shè)計
在確定好氣體房和用氣點以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短,拐彎少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機臺用氣點的多少和流量大小確定,基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設(shè)計了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險性,特種氣體公司,許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里,對于穿墻或穿過夾道的地方,周圍有危險源和經(jīng)常有危險作業(yè)的地方,露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。


您好,歡迎蒞臨安徽譜純,歡迎咨詢...
![]() 觸屏版二維碼 |