




電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。在半導體的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質(zhì)量有很大的影響。在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投人、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。
氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法
氦質(zhì)譜檢漏-真空法,包頭特種氣體,真空法首要應用于真空密封功能要求,但不帶壓工作的產(chǎn)品,特種氣體廠,如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。真空法檢測靈敏度高,能夠準確定位,能完成大容器或雜亂結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。可是只能完成一個大氣壓差的漏率檢測,不能準確反映帶壓被檢產(chǎn)品的實在走漏狀況。
選用真空法檢漏時,需求使用輔佐真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產(chǎn)品外外表施氦氣,當被檢產(chǎn)品外表有漏孔時,氦氣就會經(jīng)過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進入氦質(zhì)譜檢漏儀,然后完成被檢產(chǎn)品走漏量丈量。依照施漏氣體辦法的不同,又能夠?qū)⒄婵辗ǚ譃檎婵諊姶捣ê驼婵蘸ふ址āF溟g真空噴吹法選用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外外表噴吹氦氣,能夠完成漏孔的準確定位; 真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來,在罩內(nèi)充溢必定濃度的氦氣,能夠完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

特種氣體系統(tǒng):
管道系統(tǒng)的設(shè)計
材料的選擇
特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,電子特種氣體,采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 .
輔助系統(tǒng)的設(shè)計
氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動,特種氣體公司,閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣,所以特氣柜需設(shè)計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。


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