




特種氣體的分類(lèi)
特種氣體的分類(lèi)方式很多種,高純度特種氣體價(jià)格,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類(lèi)。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類(lèi)。同時(shí),以上分類(lèi)存在交叉,例如四氯1化硅(SiCl4)既屬于硅系氣體,又屬于外延氣體,同時(shí)在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

CO2原料氣中包含的大量烴、硫類(lèi)雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無(wú)法去除,本公司經(jīng)過(guò)多年潛心研究和多項(xiàng)實(shí)驗(yàn),研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無(wú)法除去的技術(shù)難題,南京特種氣體,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體管道的施工
施工管理和現(xiàn)場(chǎng)施工的幾個(gè)注意點(diǎn)
現(xiàn)場(chǎng)的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄,高純度特種氣體,包括管工彎管的質(zhì)量,尺寸是否準(zhǔn)確,管道是否有劃傷,彎頭是不是壓得太扁;拆除包裝的管道,預(yù)制好的管道,管口是不是封好;(管道封口應(yīng)套上管帽,再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長(zhǎng)套在管口折回后用潔凈膠帶纏好;如果沒(méi)有管帽,特種氣體供應(yīng)商,則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好,然后外面再套一層,也用膠帶封好。)焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求,每個(gè)焊縫都必須仔細(xì)檢查,并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。


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