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特種氣體的運輸及其安全技術

運輸的準備工作

1．確定車輛 。

(1)按照公路運輸車輛法的檢查標準檢查車輛的配備情況．

(2)把規(guī)定的警戒標志掛在容易看見的地方。

2．確定攜帶櫥品

（1）文件

①汽車駕駛許可證及汽車檢驗證；

②高壓氣體輸運監(jiān)視人學習結業(yè)證(必要時)}

③輸運計劃書(或輸運注意事項)， ：

④車輛運行日記及其它業(yè)務上必要的文件。

⑤劇1毒物品轉讓書(運輸劇1毒物品時)。

特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工

在現場施工時，周圍的環(huán)境會對潔凈管道有污染的危險性，因此應盡可能地在臨時凈化間內施焊，特種氣體種類，減少現場焊接點的數量。在全自動脈沖氬弧焊焊接過程中，如果管內殘留有氧氣或水分，則在焊接部位會形成氧化膜，特種氣體價格，變成微粒發(fā)生源，所以，在焊接過程中及焊接前后，用高純氮氣充分置換管內的氧氣或水分是非常重要的。焊接保護氣體經過0.05um過濾器過濾。現場每完成好一部分管道，合肥特種氣體，兩端閥門必須關緊（如沒有閥門，管內就應一直充著氬氣保護）在管道施工過程中難免會有微粒進人管道系統(tǒng)內，管路系統(tǒng)的吹掃是一個必不可少的過程；高純氣體管道用高純氮氣進行吹掃，先吹主干管，其次吹支干管，特種氣體供應商，zui后吹掃各支管。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

簡單供氣系統(tǒng)

簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應系統(tǒng)的投資預算低。

惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

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