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在半導體制造業(yè)中，可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體，大宗氣體是指集中供應且用量較大的氣體，如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積，擴散等過程中使用的各種化學氣體，特種氣體價格，如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可稱為電子特種氣體。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)，電子特種氣體，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領域應用的氣體。

特種氣體的運輸

算出運輸量

關于高壓氣體的運輸規(guī)則，根據(jù)其運輸量而有所不同。其運輸量，可用如下方法算出。

(1)運輸量的計算

  運輸量的計算是用一個容器的氣體充填量乘上車上裝載的容器個數(shù)。

  容器的充填量，壓縮氣體用米3表示，合肥特種氣體，液化氣體用公斤表示。

壓縮氣體 容器內(nèi)容積(升)×充填壓力(公斤／厘米2 )/1000=米3

  液化氣體 容器的充填質(zhì)量(公斤)。

特種氣體管道的施工

施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點

焊工每天在焊接前必須先作焊接試樣，經(jīng)檢查合格后方可進行焊接施工，特種氣體公司，每天的施工結(jié)束后還必須做一個末試樣，以確認今天的焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。每次電源變更的時候，都必須重新作試樣。焊接試樣要附上焊接參數(shù)。每天的焊接試樣要妥善保存。（焊縫質(zhì)量的檢查主要有焊縫的寬笮度、焊縫的內(nèi)外均勻度、焊縫的凹凸度、是否氧化、其他不允許的缺陷）

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