




電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產不可或缺的原材料。在半導體的生產過程中,從芯片生長到后器件的封裝,特種氣體廠,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質量有很大的影響。在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投人、高附加值的高新技術產業(yè)。
特種氣體的分類
特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體七類。同時,合肥特種氣體,以上分類存在交叉,特種氣體廠家,例如四氯1化硅(SiCl4)既屬于硅系氣體,又屬于外延氣體,同時在化學氣相沉積(CVD)中也存在應用。

特種氣體管道試壓
1、試壓前將不能與管道一起試壓的設備及壓力系統(tǒng)不同的管道系統(tǒng)用盲板隔離,應將不宜與管道系統(tǒng)一起試壓的管道附件拆除。臨時裝上短管。
2、管道上所有開口應封閉,系統(tǒng)內的閥門應開啟;系統(tǒng)1高點應設放氣閥,1低點應設排水閥。
3、試壓時,應用精度等級1.5級以上的壓力標2只,表的量程應為1大被測壓力的1.5~2倍,一只裝在試壓泵出口,另一只裝在本系統(tǒng)壓力波動較小的其他位置。

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