




在半導(dǎo)體制造業(yè)中,特種氣體價(jià)格,可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體,大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體,如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入、摻雜、氣相沉積,合肥特種氣體,擴(kuò)散等過(guò)程中使用的各種化學(xué)氣體,如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等,又可稱為電子特種氣體。電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,特種氣體供應(yīng)商,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體。

特種氣體的作用:
1、做保護(hù)介質(zhì),通常使用氦氣、ya氣、氮?dú)庥糜诟呒儍簟⒊^緣、超導(dǎo)等。
2、檢測(cè)及比較介質(zhì),通常會(huì)根據(jù)使用的儀器配制標(biāo)準(zhǔn)氣體,用于質(zhì)譜儀、氣相色譜儀、核測(cè)、報(bào)警、檢漏、醫(yī)1療、電子、原子吸收、化學(xué)檢驗(yàn)等。
3、能量介質(zhì),主要用到氫氣、氧氣等,是航空航天的重要燃料。
4、切割、焊接的介質(zhì),高純度特種氣體,應(yīng)用于電光源工業(yè)、玻璃制造、機(jī)械加工、航空航天1、基礎(chǔ)建設(shè)等。


特種氣體的用途
1、氣體產(chǎn)品質(zhì)量控制。氣體分析儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣為定量標(biāo)準(zhǔn)保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,從而控制氣體產(chǎn)品質(zhì)量符合國(guó)家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
2、報(bào)警儀器的檢定與校準(zhǔn)。
3、大氣環(huán)境污染監(jiān)測(cè)。定期校準(zhǔn)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)的各類儀器儀表。
4、醫(yī)1療衛(wèi)生及臨床化驗(yàn)。如血液氣體分析、肺功能測(cè)定、細(xì)菌培養(yǎng)、呼吸代謝測(cè)定、放1射性示蹤器、外1科激光手續(xù)、孕婦分娩等。。
5、建筑家居環(huán)境監(jiān)測(cè)。校準(zhǔn)用于檢測(cè)室內(nèi)建筑裝飾裝修材料中的有害物質(zhì),如甲1醛、氨等的儀器設(shè)備。

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