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    高純四氟化碳批發(fā)-廈門(mén)四氟化碳-安徽譜純

    安徽譜純氣體科技有限公司
    • 經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)加工
    • 地址:合肥市經(jīng)開(kāi)區(qū)翡翠路天時(shí)廣場(chǎng)二期2204室
    • 主營(yíng):氣體,特種氣體
    業(yè)務(wù)熱線(xiàn):15755114169
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      高純四氟化碳批發(fā)-廈門(mén)四氟化碳-安徽譜純:
      合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣





      吸入四氟化碳的后果與濃度有關(guān),四氟化碳價(jià)格,包括頭1痛、惡心、頭昏眼花及心1血管系統(tǒng)的破壞(主要是心臟)。長(zhǎng)時(shí)間接觸會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的心臟破壞。因?yàn)樗姆己退姆?硅都是共價(jià)化合物,廈門(mén)四氟化碳,然而碳氟鍵的鍵能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于硅氟鍵的鍵能,鍵長(zhǎng)也是前者短得多,所以四氟化碳的熱穩(wěn)定性更好。含鎂大于2%的合金不能用。在高溫,一些金屬起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增長(zhǎng)的次序由小到大地排列則如下:因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃銅、銀。






      對(duì)于硅和二氧化硅體系,采用CF4-O2反應(yīng)離子刻蝕時(shí),通過(guò)調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。產(chǎn)品經(jīng)除塵,堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質(zhì)、再經(jīng)脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進(jìn)行間歇粗餾,通過(guò)控制精餾溫度,除去O2、N2、H2,高純四氟化碳供應(yīng)商,得到高純CF4。因?yàn)樗姆己退姆?硅都是共價(jià)化合物,然而碳氟鍵的鍵能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于硅氟鍵的鍵能,鍵長(zhǎng)也是前者短得多,所以四氟化碳的熱穩(wěn)定性更好。





      四氟化碳的用途與作用 :

       四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來(lái)源,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結(jié)合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常環(huán)境下是相對(duì)惰性的,四氟化碳生產(chǎn),在不通風(fēng)的地方會(huì)引起窒息。在射頻等離子體環(huán)境中,氟自由基表現(xiàn)為典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高純度的四氟化碳能很好的控制加工過(guò)程,使尺寸和形狀得到更好的控制,這不同于其他的鹵烴遇到空氣或氧氣時(shí)不利于各種特殊的控制(如半導(dǎo)體各項(xiàng)異性控制)。





      四氟化碳生產(chǎn)-安徽譜純-廈門(mén)四氟化碳由安徽譜純氣體科技有限公司提供。四氟化碳生產(chǎn)-安徽譜純-廈門(mén)四氟化碳是安徽譜純氣體科技有限公司(m.893820.cn)升級(jí)推出的,以上圖片和信息僅供參考,如了解詳情,請(qǐng)您撥打本頁(yè)面或圖片上的聯(lián)系電話(huà),業(yè)務(wù)聯(lián)系人:鄭經(jīng)理。
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