




在半導(dǎo)體制造業(yè)中,可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體,特種氣體供應(yīng)商,大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體,如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積,擴(kuò)散等過程中使用的各種化學(xué)氣體,如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等,又可稱為電子特種氣體。電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法
選用正壓法檢漏時(shí),需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時(shí),特種氣體廠家,氦氣就會通孔漏孔進(jìn)入被檢外外表的周圍大氣環(huán)境中,上海特種氣體,再選用吸槍的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,然后完成被檢產(chǎn)品走漏丈量。依照收集氦氣方式的不同,又能夠?qū)⒄龎悍ǚ譃檎龎何鼧尫ê驼龎豪鄯e法。其間正壓吸槍法選用檢漏儀吸槍對被檢產(chǎn)品外外表進(jìn)行掃描探查,能夠完成漏孔的準(zhǔn)確定位; 正壓累積法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來,特種氣體價(jià)格,選用檢漏儀吸槍丈量必定時(shí)刻段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度改變量,完成被檢產(chǎn)品總漏率的準(zhǔn)確丈量。

特種氣體的殺菌
安全與環(huán)保
1.制定完善的經(jīng)驗(yàn)證可行的滅菌工藝方案以及環(huán)氧乙1烷存放、收發(fā)制度,專人持證上崗,嚴(yán)格按照操作規(guī)程運(yùn)行
2. 環(huán)氧乙1烷儲存應(yīng)與滅菌生產(chǎn)隔離開來,應(yīng)設(shè)有防爆墻,儲存室陰涼、通風(fēng)、防曬,有易1燃、易1爆、有毒標(biāo)志,并配備消防器材。
3.滅菌車間周圍30-50米內(nèi)不得有明火作業(yè)、變電設(shè)備及其他可發(fā)生火花的設(shè)備或操作


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