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　雖然準分子氣體通常都是裝在鋼瓶容器之中但是均為高壓充裝氣體，太原標準混合氣，所以仍然要給予良好的保存條件，正常情況下，除了不能有其他物品對其進行撞擊之外，應該將準分子氣體放在不會被陽光直接照射的地方減少氣瓶的租金；采用中央供氣系統(tǒng)，可減少對氣瓶數(shù)量的要求，從而節(jié)省氣瓶的租用和購買成本。減少分子篩損耗；控制氣體純度可有效地減少數(shù)派對分子篩的使用量（節(jié)約成本）。

制備準分子氣體時要考慮哪幾點?

可燃氣體的爆1炸極限

　　很多氣體是具有爆1炸性的，所以在制備準分子氣體的時候，應該特別考慮各組分氣體的爆1炸極限，所以要從安全的角度出發(fā)，在制備準分子氣體之前，標準混合氣報價，必須對準分子氣體混合的可行性進行研究。特別是在制備由可燃氣體和氫氣(或氧氣)組成的準分子氣體時，標準混合氣廠家，要注意組分氣體含量是否超過爆1炸限的問題。

準分子預混氣的使用

可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設計將鋼瓶置于特氣柜內，再通過管道將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥門箱，標準混合氣供應，而后再進入制程機臺的使用點，于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機，以質流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制。氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，硅1烷遇水反應，這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

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