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    成都四氟化碳-高純四氟化碳生產(chǎn)廠家-安徽譜純

    安徽譜純氣體科技有限公司
    • 經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工
    • 地址:合肥市經(jīng)開區(qū)翡翠路天時廣場二期2204室
    • 主營:氣體,特種氣體
    業(yè)務(wù)熱線:15755114169
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      成都四氟化碳-高純四氟化碳生產(chǎn)廠家-安徽譜純:
      合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準分子預(yù)混氣





      四氯化4碳與氟化1氫的反應(yīng)在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進行,反應(yīng)后的氣體經(jīng)水洗、堿洗除去酸性氣體,成都四氟化碳,再通過冷凍,四氟化碳生產(chǎn)廠家,用硅膠除去氣體中的水分經(jīng)精餾而得成品。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時,通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。四氟化碳的熱穩(wěn)定性更好。






      四氟化碳的密度比較高,四氟化碳廠家,可以填滿地面空間范圍,在不通風(fēng)的地方會導(dǎo)致窒息。四氟化碳成品應(yīng)存放在陰涼,干燥,通風(fēng)的庫房內(nèi),嚴禁曝曬,遠離熱源。四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結(jié)合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。






      四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源,四氟化碳哪家好,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結(jié)合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳也一樣,比如我們公司生產(chǎn)的鋼瓶裝四氟化碳在14MPA的氣壓下也是液態(tài)的,在正常大氣壓下就是氣態(tài)的,四氟化碳是有一定毒性的應(yīng)該不能用作呼吸。產(chǎn)品經(jīng)除塵,堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質(zhì)、再經(jīng)脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進行間歇粗餾,通過控制精餾溫度,除去O2、N2、H2,得到高純CF4。





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