安徽譜純 貨源足(圖)-電子特種氣體-太原特種氣體：

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 特種氣體是指那些在特定領域中應用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料，特種氣體隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展，應用范圍越來越廣泛。電子特種氣體種類多，應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導體技術的核心產(chǎn)品。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，高純度特種氣體多少錢，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。

 特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎原料，根據(jù)不同氣體的生產(chǎn)工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域，太原特種氣體，其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體，其中常用的有20～30 種。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)，高純度特種氣體廠家，由于所用氣體的品種多、質量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。

 特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。目前，國內共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家，高純度特種氣體，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。

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