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 目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有專用氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔， 避免陽光直射， 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣，特種氣體批發(fā)， 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 　

   自80年代1開始，我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世，其品種數(shù)目已與國外發(fā)達(dá)國家水平相近。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。包裝標(biāo)志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時(shí)，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無　水，管路、閥門和容器不用時(shí)應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離

 特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體，根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn)，匯總起來共有227種，可分成五個(gè)類別。有專用氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔， 避免陽光直射，特種氣體生產(chǎn)廠家， 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣， 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 　包裝標(biāo)志：有毒氣體。常溫下，武漢特種氣體，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時(shí)，特種氣體多少錢，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無　水，管路、閥門和容器不用時(shí)應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離。

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