




在制備準(zhǔn)分子氣體之前,還應(yīng)考慮組分氣體與鋼瓶及閥門所用材質(zhì)是否發(fā)生化學(xué)反應(yīng)問題,如氧化、腐蝕、吸附等等,以便保證制備出來(lái)的準(zhǔn)分子氣體具有良好穩(wěn)定性。選用不同材質(zhì)的鋼瓶和瓶閥來(lái)儲(chǔ)裝準(zhǔn)分子氣體。準(zhǔn)分子氣體在進(jìn)樣的時(shí)候需要使用管線,但是每種其他的性質(zhì)特點(diǎn)不同,所以要注意根據(jù)根據(jù)不同的氣體性質(zhì)來(lái)選擇管線的材質(zhì)。


準(zhǔn)分子預(yù)混氣的使用
可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過(guò)管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥門箱,而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn),準(zhǔn)分子預(yù)混氣公司,于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前,會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機(jī),準(zhǔn)分子預(yù)混氣多少錢,以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制。氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng),但有的氣體如三氟化氯,硅1烷遇水反應(yīng),無(wú)錫準(zhǔn)分子預(yù)混氣,這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。


準(zhǔn)分子預(yù)混氣的運(yùn)輸和儲(chǔ)存
準(zhǔn)分子預(yù)混氣得來(lái)不易,準(zhǔn)分子預(yù)混氣價(jià)格,在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、以及相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,確保避免二次污染。而我國(guó)加工工藝整體落后以及不符合國(guó)際規(guī)范,市場(chǎng)主要被國(guó)外公司占據(jù)。國(guó)內(nèi)電子特氣純度仍有待提升。目前國(guó)外電子特氣的純度一般在6個(gè)“9”(即99.9999%),而國(guó)內(nèi)多在4—5個(gè)“9”之間,少數(shù)能達(dá)到6個(gè)“9”。

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