對特氣的危害性進行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設(shè)計應(yīng)進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示,中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是,從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)較好的地位。






特種氣體分類:標準氣體嚴格意義上應(yīng)稱為標準校正氣體,是一種高度均勻, 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,可分為單元標準氣體和多元標準氣體,目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求,特種標準氣體嚴格意義上應(yīng)稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質(zhì)之一,故又稱為氣體標準物質(zhì)。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用:特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導(dǎo)體的“源”,主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。

特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用:晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學研究、自動 化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。滅菌特種氣體主要應(yīng)用于(繃帶、縫線及手術(shù)器具)、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。

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