安徽譜純|安全無憂(圖)-工業(yè)特種氣體-西安特種氣體：

特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：高壓容器內(nèi)，存有內(nèi)容物時(shí)，無論內(nèi)容量多少，在該容器儲(chǔ)存場(chǎng)地2m內(nèi)，嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場(chǎng)所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料，被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。

特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用：特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導(dǎo)體的“源”，主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。

特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類，是隨著近年來工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng) 化技術(shù)、精密檢測(cè)，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。滅菌特種氣體主要應(yīng)用于（繃帶、縫線及手術(shù)器具）、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。

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