自80年代1開始,我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世,其品種數(shù)目已與國外發(fā)達國家水平相近。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。包裝標志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時,由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設備中無 水,管路、閥門和容器不用時應密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離






特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產品統(tǒng)稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。目前,國內共有特種氣體生產企業(yè)達150余家,多數(shù)企業(yè)生產規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。

特種氣體的儲存注意事項:根據(jù)儲存的氣體類型設置標牌,如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。滅菌特種氣體由于它的活潑型,殺菌力強、殺菌譜廣,對物品損害輕微等優(yōu)點,已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一,特種氣體的重要性:在半導體工藝中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離 不開電子特氣,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。

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