特種氣體是由兩大類(lèi)氣體組成的。一類(lèi)為單元高純氣體,另一類(lèi)為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn),匯總起來(lái)共有227種,可分成五個(gè)類(lèi)別。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱(chēng)為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類(lèi)繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類(lèi).一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷(xiāo)量大,但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷(xiāo)量雖小,但根據(jù)不同的用途。有氣體倉(cāng)庫(kù)貯存。氣瓶倉(cāng)庫(kù)應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽(yáng)光直射, 氣瓶庫(kù)應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈kU(xiǎn)標(biāo)記。





在半導(dǎo)體制造過(guò)程中涉及的材料眾多,在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中,從芯片生長(zhǎng)到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開(kāi)電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱(chēng)為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過(guò)流開(kāi)關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類(lèi)。隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn),部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿(mǎn)足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,從核心競(jìng)爭(zhēng)力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō),我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。

特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):根據(jù)儲(chǔ)存的氣體類(lèi)型設(shè)置標(biāo)牌,如“嚴(yán)禁明火”、“危險(xiǎn)”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設(shè)施。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類(lèi),電子特種氣體(簡(jiǎn)稱(chēng)電子特氣)是特種氣體的 一個(gè)重要分支,是超大規(guī)模集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,

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