特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻,匯總起來共有227種,可分成五個類別。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當?shù)奈kU標記(例如、、有毒等) 。 包裝標志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時,由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設(shè)備中無 水,管路、閥門和容器不用時應密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離。






滅菌特種氣體主要應用于(繃帶、縫線及手術(shù)器具)、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。特種氣體的儲存注意事項:儲存場地的道路,應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏,長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次,并做記錄。滅菌特種氣體由于它的活潑型,殺菌力強、殺菌譜廣,對物品損害輕微等優(yōu)點,已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一,

特種氣體在太陽能電池中的應用:晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學研究、自動 化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。滅菌特種氣體主要應用于(繃帶、縫線及手術(shù)器具)、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。

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