安徽譜純|老牌企業(yè)(多圖)-太原半導(dǎo)體特種氣體：

 氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級(jí)的氧氣和氮?dú)狻⒔?jīng)過焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞，是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除，本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項(xiàng)實(shí)驗(yàn)，研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題，使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段，較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。

特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用：特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導(dǎo)體的“源”，主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。

特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：根據(jù)儲(chǔ)存的氣體類型設(shè)置標(biāo)牌，如“嚴(yán)禁明火”、“危險(xiǎn)”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設(shè)施。滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

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