目前,國內共有特種氣體生產企業(yè)達150余家,多數企業(yè)生產規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。特種氣體是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料,特種氣體隨著新產品技術的發(fā)展,應用范圍越來越廣泛。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質期,天然1氣公司已經開發(fā)出各種技術,以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。






電子特種氣體種類多,應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,在半導體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導體技術的核心產品。根據有關數據顯示,中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關注的是,從產業(yè)鏈以及技術層面歐美國家占據較好的地位。特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據現(xiàn)已收集到的文獻,匯總起來共有227種,可分成五個類別。

特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內,存有內容物時,無論內容量多少,在該容器儲存場地2m內,嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,

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