隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn),部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿(mǎn)足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,從核心競(jìng)爭(zhēng)力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō),我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。特種氣體是電子工業(yè),特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向,這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿(mǎn)足純度的要求。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐源材料。






氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類(lèi)別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過(guò)空氣分離設(shè)備制造的普通級(jí)的氧氣和氮?dú)狻⒔?jīng)過(guò)焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來(lái)的普通純度的其它種類(lèi)氣體。特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞,是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類(lèi)雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無(wú)法去除,本公司經(jīng)過(guò)多年潛心研究和多項(xiàng)實(shí)驗(yàn),研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無(wú)法除去的技術(shù)難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。

特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):高壓容器內(nèi),存有內(nèi)容物時(shí),無(wú)論內(nèi)容量多少,在該容器儲(chǔ)存場(chǎng)地2m內(nèi),嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場(chǎng)所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。

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