特種氣體-安徽譜純|老牌企業(yè)-特種氣體生產(chǎn)廠家：

 目前，國(guó)內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國(guó)企業(yè)已經(jīng)在國(guó)內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國(guó)內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有氣體倉(cāng)庫(kù)貯存。氣瓶倉(cāng)庫(kù)應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽(yáng)光直射, 氣瓶庫(kù)應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 　

20 世紀(jì) 80 年代，電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動(dòng)特種氣體的需求提高，隨著氣體供應(yīng)商供氣模式的引入，國(guó)內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨(dú)立的氣體公司，國(guó)內(nèi)特種氣體市 場(chǎng)逐步發(fā)展起來(lái)。特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測(cè)等步驟，其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：高壓容器內(nèi)，存有內(nèi)容物時(shí)，無(wú)論內(nèi)容量多少，在該容器儲(chǔ)存場(chǎng)地2m內(nèi)，嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場(chǎng)所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。

特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：高壓容器內(nèi)，存有內(nèi)容物時(shí)，無(wú)論內(nèi)容量多少，在該容器儲(chǔ)存場(chǎng)地2m內(nèi)，嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場(chǎng)所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路，應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏，長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。

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