成都特種氣體-特種氣體廠-安徽譜純(多圖)：

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前，國內共有特種氣體生產企業(yè)達150余家，多數企業(yè)生產規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。特種氣體應用于國民經濟的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數量上, 都以的速度發(fā)展, 生產的品種基本上滿足了市場的需求。

 特種氣體應用于國民經濟的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數量上, 都以的速度發(fā)展, 生產的品種基本上滿足了市場的需求。滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，環(huán)氧乙1烷可殺滅細1菌（及其內孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據現已收集到的文獻,匯總起來共有227種,可分成五個類別。

特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體的儲存注意事項：高壓容器內，存有內容物時，無論內容量多少，在該容器儲存場地2m內，嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。

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