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氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。 Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動介質(zhì)。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。氣體激光(Gaseous laser)，以氣體為自動介質(zhì)的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準分子激光。

激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。稀有氣體離子激光中，以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外，氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。

氣體激光(Gaseous laser)，以氣體為自動介質(zhì)的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準分子激光。稀有氣體離子激光中，以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外，氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動介質(zhì)。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。

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