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使用準分子激光技術(shù)所進行的工業(yè)加工任務各不相同，青島準分子預混氣，這就促使了準分子激光氣體在準分子激光技術(shù)產(chǎn)品具有更廣的輸出特性。本質(zhì)上，準分子預混氣多少錢，所有的應用都要求具有高可靠性，激光壽命更長，準分子預混氣價格，運轉(zhuǎn)成本更低。在三方面主要應用的促進下，激光器制造商已經(jīng)取得了大量重要的技術(shù)進步。新一代的準分子激光器維護間隔時間更長，自動調(diào)節(jié)能力更先進，所需支的擁有成本也更低。

準分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，產(chǎn)生的準分子激光波長為172nm。

1975年包括美國政府的海1軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術(shù)中心，Avco Everett研究實驗室，和美國桑迪亞國家實驗室在內(nèi)的多家政府研究機構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準分子激光的氣體有10多種。

準分子激光氣體應用

準分子激光氣體(Excimer Laser Gas Mixtures)包括AF(193nm)，KrF(248nm)，XeCl (308nm)預混氣體，主要應用于眼科醫(yī)1療、光纖、半導體、材料科學、電子、平板等領(lǐng)域。作為當今1有效，1可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表，準分子激光器有效的推進了諸如半導體，準分子預混氣體，AMOLED平板顯示，薄膜，硅底板加工、有機金屬沉淀、高溫超導、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)1療、光纖、鉆石達標設(shè)備及可替代能源等多種成長型工業(yè)中的技術(shù)更新。

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