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準分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，產(chǎn)生的準分子激光波長為172nm。

1975年包括美國政府的海1軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術中心，準分子預混氣廠家，Avco Everett研究實驗室，和美國桑迪亞國家實驗室在內(nèi)的多家政府研究機構研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準分子激光的氣體有10多種。

使用準分子激光技術所進行的工業(yè)加工任務各不相同，這就促使了準分子激光氣體在準分子激光技術產(chǎn)品具有更廣的輸出特性。本質(zhì)上，所有的應用都要求具有高可靠性，激光壽命更長，太原準分子預混氣，運轉成本更低。在三方面主要應用的促進下，激光器制造商已經(jīng)取得了大量重要的技術進步。新一代的準分子激光器維護間隔時間更長，自動調(diào)節(jié)能力更先進，所需支的擁有成本也更低。

準分子激光技術（準分子激光氣體產(chǎn)生激光）在制造業(yè)微加工應用不斷擴大，包括鉆石等激光打標、材料表面改性、高碳鋼淬火、三維加工。準分子激光技術在微加工中可以得到小孔，刻線，以及其他三維復雜的圖案，如果結合有效反饋( 比如，用激光測量)來控制光的輸入，加工精度在深度方向可達亞微米量級。準分子激光氣體使用短波長使得側向的精度可達亞微米量級；然而，實現(xiàn)亞微米量級不僅依賴于激光性能。它還要求高重復率的運動控制，準分子預混氣供應，通常使用帶空氣軸承的平臺來移動基底和鏡片，鏡片移動需要考慮到足夠的焦深，同時，實際加工時需要足夠大的視場。準分子激光氣體尤其適合大面積，集中且重復性強的圖案。

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