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氣瓶柜 gas cabinet (GC)

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。

氣瓶架 gas rack (GR)

特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動、半自動、全自動三類。

市場的表現(xiàn)是行業(yè)發(fā)展利好形勢的有力證明。近期，業(yè)內(nèi)企業(yè)、地方政府在電子特種氣體行業(yè)“大展拳腳”。凱美特氣擬3.1億元成立子公司，布局電子特種氣體領(lǐng)域；重慶產(chǎn)特種氣體首1次出口蘇丹，東莞特種氣體，助力“一帶一路”建設(shè)；大理建滇西1大特種氣體供應(yīng)項目。這些都為電子特種氣體行業(yè)的開拓孕育了新的發(fā)展契機。

根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長，僅2016年，特種氣體價格，中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)絕1對的領(lǐng)1先地位。可喜的是，特種氣體供應(yīng)，隨著新技術(shù)、新成果不斷涌現(xiàn)，將加速我國電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，我國的特種氣體產(chǎn)業(yè)需求有望持續(xù)增長。

特種氣體(Specialty gases)是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。

特種氣體廣泛應(yīng)用于半導體制造行業(yè)，特種氣體銷售，是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體中包含了大量的有毒、有害的危險性大的氣體，因此，特種氣體的使用和貯存有別于普通的工業(yè)氣體。特種氣體按性質(zhì)分類:腐蝕性氣體、易燃性氣體、氧化氧氣體、惰性氣體、有毒性氣體。

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