特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并且從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。
半導(dǎo)體照明是正處于方興未艾的產(chǎn)業(yè),隨著化合物半導(dǎo)體市場的擴展,特種氣體的需求呈現(xiàn)更大的增長態(tài)勢,外延生長需要大量的超純源和過程氣體。應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)中的特種氣體因為其種類繁多品質(zhì)要求嚴(yán)格,生產(chǎn)、充裝、運送、儲存都有技術(shù)及安全的要求,再加上經(jīng)濟規(guī)模等因素,需要多方面的積累才能實現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn),成都特種氣體,因此目前國內(nèi)呈現(xiàn)現(xiàn)市場大、供應(yīng)能力小的局面。

市場的表現(xiàn)是行業(yè)發(fā)展利好形勢的有力證明。近期,業(yè)內(nèi)企業(yè)、地方政府在電子特種氣體行業(yè)“大展拳腳”。凱美特氣擬3.1億元成立子公司,布局電子特種氣體領(lǐng)域;重慶產(chǎn)特種氣體首1次出口蘇丹,助力“一帶一路”建設(shè);大理建滇西1大特種氣體供應(yīng)項目。這些都為電子特種氣體行業(yè)的開拓孕育了新的發(fā)展契機。
根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示,特種氣體銷售,中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長,特種氣體公司,僅2016年,中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是,從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)絕1對的領(lǐng)1先地位。可喜的是,隨著新技術(shù)、新成果不斷涌現(xiàn),特種氣體廠家,將加速我國電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,我國的特種氣體產(chǎn)業(yè)需求有望持續(xù)增長。

特種氣體中單元高純氣體的品種及用途
特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn),匯總起來共有227種,可分成五個類別: 一、電子氣體,共85種(序號1~85),占總數(shù)的36.3%; 二、有機氣體,共61種(序號86~146),占總數(shù)的27.8%; 三、無機氣體,共35種(序號147~181),占總數(shù)的15.5%;

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