電子特種氣體種類多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛,南寧特種氣體,因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場(chǎng)依然是國(guó)內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。

氣體工業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)之一,特種氣體銷售,覆蓋社會(huì)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域,特種氣體廠,受益于國(guó)民生活,牽動(dòng)著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。
特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料,特種氣體隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛。
特種氣體門類繁多,通常可分為電子氣體、環(huán)保氣、醫(yī)用氣等,廣泛應(yīng)用在石油化工、有色金屬、激光、醫(yī)學(xué)、環(huán)境、食品等領(lǐng)域,在國(guó)民經(jīng)濟(jì)高速發(fā)展及下游1行業(yè)的強(qiáng)勁需求下,我國(guó)特種氣體行業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段。
隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,特種氣體在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的重要地位和作用日益凸顯。主要體現(xiàn)在煉油行業(yè)、冶金行業(yè)、電子器件、環(huán)保產(chǎn)業(yè)。

特種氣體是電子工業(yè),特種氣體公司,特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向,這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求,以實(shí)現(xiàn)氣體的市場(chǎng)價(jià)值。在這三種分離技術(shù)中,精餾技術(shù)的操作比較復(fù)雜,目前精餾的汁算還處在半經(jīng)驗(yàn)狀態(tài),但分離的氣體產(chǎn)品的純度能滿足市場(chǎng)上各種氣體的純度要求;吸附分離技術(shù)還有待于吸附劑的發(fā)展;膜分離技術(shù)是較新的分離模式,它的發(fā)展很快,已經(jīng)對(duì)精餾技術(shù)和吸附分離技術(shù)造成了不同程度的威脅。總之,這三種方法各有優(yōu)缺點(diǎn),適應(yīng)不同的場(chǎng)合,滿足不同的要求,為特種氣體的分離做出各自的貢獻(xiàn)。

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