應(yīng)用于LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體
半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。半導(dǎo)體工業(yè)特種氣體應(yīng)用分類,主要包括:
1、硅族氣體:含硅基的硅3烷類,如硅3烷、二氯二氫硅、乙硅1烷等
2、摻雜氣體:含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體,沈陽特種氣體,如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。
3、蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主,如氯1氣、三氟化氮、xiu化氫、四氟化碳、六氟乙1烷等。
4、反應(yīng)氣體:以碳系及氮系氧化物為主,如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。
5、金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬,如六氟化鎢、三甲1基jia。

市場的表現(xiàn)是行業(yè)發(fā)展利好形勢的有力證明。近期,業(yè)內(nèi)企業(yè)、地方政府在電子特種氣體行業(yè)“大展拳腳”。凱美特氣擬3.1億元成立子公司,布局電子特種氣體領(lǐng)域;重慶產(chǎn)特種氣體首1次出口蘇丹,助力“一帶一路”建設(shè);大理建滇西1大特種氣體供應(yīng)項(xiàng)目。這些都為電子特種氣體行業(yè)的開拓孕育了新的發(fā)展契機(jī)。
根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示,中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長,特種氣體報(bào)價(jià),僅2016年,特種氣體供應(yīng),中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是,從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)絕1對的領(lǐng)1先地位。可喜的是,特種氣體銷售,隨著新技術(shù)、新成果不斷涌現(xiàn),將加速我國電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,我國的特種氣體產(chǎn)業(yè)需求有望持續(xù)增長。

電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細(xì)分領(lǐng)域整合開啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元,同比增長 5.7%;國內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預(yù)計(jì)到 2020 年將突破 68 億元。電子特種氣體行業(yè)集中度高,以美國空氣化工、美國普萊克斯、德國林德集團(tuán)、法國液化空氣和日本大陽日酸株式會(huì)社為首的五大氣體公司占有全球 90%以上的電子特種氣體市場份額。

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