電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過程的特殊材料,之所以稱之為“特殊”,因?yàn)樗鼈円蟪兂瑑簦胤N氣體批發(fā),而且大部分有毒腐或者易燃等性質(zhì)。對(duì)雜質(zhì)的要求,氣體圈子任路先生這樣說道,1個(gè)PPB的SPEC要求,相當(dāng)于對(duì)雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個(gè)足球場(chǎng)的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個(gè)shai子(1cm長(zhǎng)寬高的)雜質(zhì)!

電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細(xì)分領(lǐng)域整合開啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元,合肥特種氣體,同比增長(zhǎng) 5.7%;國(guó)內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預(yù)計(jì)到 2020 年將突破 68 億元。電子特種氣體行業(yè)集中度高,以美國(guó)空氣化工、美國(guó)普萊克斯、德國(guó)林德集團(tuán)、法國(guó)液化空氣和日本大陽(yáng)日酸株式會(huì)社為首的五大氣體公司占有全球 90%以上的電子特種氣體市場(chǎng)份額。

電子特種氣體種類多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,特種氣體銷售,在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場(chǎng)依然是國(guó)內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。

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