電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過程的特殊材料,之所以稱之為“特殊”,特種氣體銷售,因為它們要求超純超凈,而且大部分有毒腐或者易燃等性質(zhì)。對雜質(zhì)的要求,氣體圈子任路先生這樣說道,特種氣體生產(chǎn)廠家,1個PPB的SPEC要求,相當(dāng)于對雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個足球場的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個shai子(1cm長寬高的)雜質(zhì)!

滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,環(huán)氧乙1烷可殺滅細1菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。美國化學(xué)家Lloyd Hall在1938年取得以環(huán)氧乙1烷消毒法保存香料的專利,該方法直到今天仍有人使用。由于它的活潑型,殺菌力強、殺菌譜廣,對物品損害輕微等優(yōu)點,合肥特種氣體,環(huán)氧乙1烷和二氧化碳的混合氣體已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一,主要應(yīng)用于醫(yī)1療器械(繃帶、縫線及手術(shù)器具)、包裝、紡織品、麻1醉、文1物檔案、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的消毒1殺菌。

電子特種氣體種類多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,特種氣體廠,在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場依然是國內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體七類。

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