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金屬混合靶與準分子激光氣相沉積技術

正在ICF實驗中，混合膜、多層膜是基礎、基準實驗用靶的一種重要靶型。薄膜的研究也成為ICF靶研究的重要領域，高質量的薄膜有利于物理診斷的研究。長期以來，發(fā)展了多種制膜技術和方法，如蒸發(fā)、離子束濺射、磁控濺射、分子束外延(MBE)、金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)、溶膠-凝膠法等。近年來，隨著高功率脈沖激光技術的發(fā)展而產生的脈沖激光制膜技術(PLD)，在制備多元素化合物膜等方面顯示了獨特的優(yōu)越性。

在準分子激光器全球的醫(yī)1療、半導體、光纖、平板顯示、材料研究等高1端行業(yè)得到廣泛的應用，但作為專業(yè)的準分子激光氣體的重要廠商，我們同時也發(fā)現(xiàn)在準分子激光器的使用上，還存在著一些隱憂，準分子預混氣廠，筆者想通過這篇文章，以引起相關操作人員的重視。

準分子激光氣體的主要成分：

氟化ya（ArF)  193 nm ：F2、Ar、He、Ne；

氟化ke（KrF)  248 nm ：F2、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne

氟化氙（XeF） 351 nm：F2、Xe、He、Ne

顯而易見，準分子激光氣體成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體，準分子預混氣銷售，除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外，對人體的危害是有限的，排除惰性稀有氣體的危害主要的做法還是通風，增強室內空氣的對流。

準分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，合肥準分子預混氣，產生的準分子激光波長為172nm。

1975年包括美國政府的海1軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術中心，Avco Everett研究實驗室，和美國桑迪亞國家實驗室在內的多家政府研究機構研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產出第1臺商業(yè)用準分子激光器。

迄今為止已經發(fā)現(xiàn)的能夠產生準分子激光的氣體有10多種。

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