生產(chǎn)特種氣體公司-南寧特種氣體-安徽譜純特種氣體：

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特種氣體產(chǎn)品供應(yīng)有代表性的公司為美國(guó)Air Product、Praxair、德國(guó)Linder、法國(guó)AirLiquid、日本酸素等，南寧特種氣體，這些公司的產(chǎn)品在國(guó)際電子氣體的市場(chǎng)占有主要份額。國(guó)內(nèi)特種氣體的研究開發(fā)取得了一定的成績(jī)，形成產(chǎn)業(yè)化的還很少，使得絕大多數(shù)產(chǎn)品仍然依賴進(jìn)口。在國(guó)家“863”項(xiàng)目的支持下，公司生產(chǎn)的高純氨產(chǎn)品純度99.99999%以上，可以替代進(jìn)口產(chǎn)品，應(yīng)用在氮化jia生產(chǎn)中。

電子特種氣體種類多，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛，特種氣體批發(fā)，因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場(chǎng)依然是國(guó)內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。

高純氣體輸送及儲(chǔ)運(yùn)也是影響電子氣體質(zhì)量的關(guān)鍵因素。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，特種氣體多少錢，要求相應(yīng)器件耐高壓、耐高真空，對(duì)于腐蝕性氣體要求耐腐蝕，以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多，對(duì)包裝容器的要求也越來越高，對(duì)于氣瓶?jī)?nèi)壁處理技術(shù)以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

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