新華社北京3月13日電(記者張泉、劉詩(shī)平)電子特種氣體被稱(chēng)作電子工業(yè)的“血液”。中船重工718所副所長(zhǎng)郭建增告訴記者,718所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應(yīng)商,為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。
電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱(chēng),貴陽(yáng)特種氣體,是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵材料。然而,電子特種氣體過(guò)去長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷,哪里有特種氣體廠家,嚴(yán)重影響我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)鏈完善,生產(chǎn)特種氣體廠家,影響我國(guó)集成電路、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體市場(chǎng)需求
目前,全球每年對(duì)高純電子氣體的需求速度遞增,供應(yīng)特種氣體廠家,2009年全球LED用高純度特種氣體市場(chǎng)規(guī)模已達(dá)20億美元。美國(guó)Air Product、Praxair、德國(guó)Linder、法國(guó)Air Liquid、日本昭和等幾大氣體公司在全球市場(chǎng)占有壟斷地位,年產(chǎn)能高達(dá)數(shù)千噸。
近年來(lái)隨著光電子、微電子技術(shù)的發(fā)展,特別是氮化jia技術(shù)的突破,對(duì)特種氣體的需求和技術(shù)要求愈來(lái)愈高。越來(lái)越多的生產(chǎn)廠家和用戶開(kāi)始關(guān)注原材料的質(zhì)量及其對(duì)生產(chǎn)、銷(xiāo)售和企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益帶來(lái)的影響。

電子特種氣體種類(lèi)多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場(chǎng)依然是國(guó)內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類(lèi)方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類(lèi)。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類(lèi)。

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